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| 国外固体磷扩散源的研制概况 | |
| 作者姓名： | 彭建中 |
| 作者单位： | 建材院陶耐所 |
| 摘 要： | 一、前言随着电子技术的蓬勃发展,给新型无机材料的应用开辟了广阔的领域。电子技术需要各种各样的材料,象半导体材料,高频绝缘材料、介电、压电、铁电材料,以及磁性材料、莹光材料等。近几十年发展起来的中大规模集 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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