| 基于压电陶瓷的精密进给系统的应用研究 |
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| 引用本文： | 徐源,李蓓智,张家梁,闫如忠,李诗.基于压电陶瓷的精密进给系统的应用研究[J].机械设计与制造,2008(9). |
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| 作者姓名： | 徐源 李蓓智 张家梁 闫如忠 李诗 |
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| 作者单位： | 东华大学,机械工程学院,上海,201600 |
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| 摘 要： | 压电陶瓷器件在精密定位和微位移控制中得到了广泛的应用,但是它存在着迟滞、蠕变等特点,给压电陶瓷的陶瓷的控制带来了困难.该系统设计了基于信号处理及特殊算法的闭环控制系统,应用于对压电陶瓷致动器的控制,并且在此基础上建立实验系统.实验数据分析结果表明,定位精度稳定在±0.02μm,良好的解决了压电陶瓷的非线性特点,满足高精密加工技术的需求.
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| 关 键 词： | 压电陶瓷 精密进给系统 迟滞特性 蠕变特性 闭环系统 |
Research of precision feeding system based on Piezo-electric actuator |
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| XU Yuan,LI Bei-zhi,ZHANG Jia-liang,YAN Ru-zhong,LI Shi.Research of precision feeding system based on Piezo-electric actuator[J].Machinery Design & Manufacture,2008(9). |
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| Authors: | XU Yuan LI Bei-zhi ZHANG Jia-liang YAN Ru-zhong LI Shi |
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