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| δ掺杂AlGaAs/GaAsHEMT的二维量子模型 | |
| 引用本文： | 张兴宏,杨玉芬,王占国.δ掺杂AlGaAs/GaAsHEMT的二维量子模型[J].半导体学报,1997,18(9):682-687. |
| 作者姓名： | 张兴宏 杨玉芬 王占国 |
| 作者单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 摘 要： | 本文我们首次建立了δ掺杂AlGaAs／GaAs高电子迁移串晶体管（HEMT）的二维量子模型，这种模型考虑了HEMT器件沟道中二维电子气的量子特性，根据这个模型，我们应用二维数值模拟方法和自治求解薛定谔方程和泊松方程获得了器件沟道中的二维电子浓度，同时也得到了器件沟道中的横向电场分布和横向电流密度．模拟结果表明二维电子气主要分布在异质结GaAs一侧量子附中．详细讨论了不同栅压和不同漏压下HEMT沟道中的二维电子浓度的分布及变化． |
| 关 键 词： | 掺杂 砷化镓 镓铝砷化合物 二维量子模型 |
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