| 用于工艺流程自动生成的排序算法 |
| |
| 引用本文： | 严利人,王强.用于工艺流程自动生成的排序算法[J].微电子学,2001,31(2):115-117. |
| |
| 作者姓名： | 严利人 王强 |
| |
| 作者单位： | 清华大学微电子学研究所, |
| |
| 摘 要： | 文章介绍了一种工艺流程的自动排序算法。该算法将器件的结构作为输入信息，利用工艺库，得到可制造出该器件的工艺路线。该算法可应用于VLI制造的工艺流程卡自动生成。
|
| 关 键 词： | 集成电路 工艺流程卡 自动排序算法 工艺库 |
| 文章编号： | 1004-3365(2001)02-0115-03 |
| 修稿时间： | 2000年7月10日 |
A Sorting Algorithm for Automatic Process Generation |
| |
| YAN Li-ren,WANG Qiang.A Sorting Algorithm for Automatic Process Generation[J].Microelectronics,2001,31(2):115-117. |
| |
| Authors: | YAN Li-ren WANG Qiang |
| |
| Affiliation: | WT5BZ]YAN Li ren,WANG Qiang [WT6BX] |
| |
| Abstract: | A sorting algorithm that can be used in automatic generation of VLSI process flow chart is presented in the paper, The algorithm takes the device structure as input information and plans process flow by consulting the library of manufacturing steps. |
| |
| Keywords: | IC process Process flow chart Sorting algorthm Library of manufacturing steps |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
