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| 溅射时氧氩气体比例对YBCO高Tc超导靶表面成分的影响 | |
| 作者姓名： | 刘隆鉴 沈杰 |
| 摘 要： | 本文研究了氧氩气体经例对溅射法制备ＹＢＣＯ高Ｔｃ超导薄膜的质量的影响情况，对氧氩气体在１：４和由１：４变为１：７及由１：７变为１：４的情况进行了研究，得到了一些有意义的结果。 |
| 关 键 词： | 薄膜 溅射 表面成分 YBCO 高Tc 超导体 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |
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