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| 基于图像测量的微刻线尺高精度检测 | |
| 引用本文： | 孙双花,薛梓,叶孝佑,王鹤岩.基于图像测量的微刻线尺高精度检测[J].计量技术,2012(6):6-9. |
| 作者姓名： | 孙双花 薛梓 叶孝佑 王鹤岩 |
| 作者单位： | 中国计量科学研究院,北京,100013 |
| 基金项目： | 国家科技基础条件平台项目（APT0809-2） |
| 摘 要： | 在高精度激光二坐标标准装置上实现了线宽2μm、最小线间距10μm的微刻线尺的高精度检测.采用高精度差动式激光干涉测长系统作为测长基准,高倍光学镜和高分辨力CCD组合作为精密光学瞄准定位反馈,设计了采样窗自动识别算法实现了条纹图像的自动识别瞄准,提出了采样窗内双向逐行扫描及3σ准则剔除离群点的边缘提取算法,提高了边缘检测精度.微刻线尺线间距的测量不确定度优于0.3μm,k=2,测量的重复性标准差优于20nm. |
| 关 键 词： | 计量学 激光二坐标 图像测量 微刻线尺 线间距 |
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