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| 直线电机在划片机中的应用 | |
| 引用本文： | 黄伟,聂东,陈英俊,索来春,黄浩.直线电机在划片机中的应用[J].新技术新工艺,2001(7):4-5. |
| 作者姓名： | 黄伟 聂东 陈英俊 索来春 黄浩 |
| 作者单位： | 1. 广东肇庆学院电子信息工程系 2. 广东风华高科技集团公司博士后工作站 |
| 摘 要： | 介绍了直线电机在划片机中的应用，结果表明，直线电机在高精度定位和进给方面，性能优异。 |
| 关 键 词： | 直线电机 划片机 高精度定位 进给机构 集成电路 |
The Application of Linear Motor in Dicing Machine |
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