| 一种测量透明薄膜厚度的新方法 |
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| 引用本文： | 王玉田,赵世强,王遂,隋红丽.一种测量透明薄膜厚度的新方法[J].传感技术学报,2003,16(1):6-8. |
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| 作者姓名： | 王玉田 赵世强 王遂 隋红丽 |
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| 作者单位： | 燕山大学电气工程学院,河北,秦皇岛,066004 |
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| 摘 要： | 介绍了一种分析获取干涉图的新方法，可使得计算机处理简单，我们可以利用此结合很容易地测量出薄膜的厚度。
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| 关 键 词： | 厚度测量 薄膜 干涉测量 电荷耦合器件 |
| 文章编号： | 1004-1699(2003)01-0006-03 |
| 修稿时间： | 2002年8月14日 |
A NovelM ethod forM easur ing Tran sparen t F ilm Th ickness |
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| WANG Yutian\,ZHAO Shiqiang\,WANG Sui\,SUI Hongli.A NovelM ethod forM easur ing Tran sparen t F ilm Th ickness[J].Journal of Transduction Technology,2003,16(1):6-8. |
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| Authors: | WANG Yutian\ ZHAO Shiqiang\ WANG Sui\ SUI Hongli |
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| Affiliation: | D ep t. of S cience Instrum ent and E ng ineering , Y anshan U niv ersity ,Q inhuang d ao H ebei 066004 P. R. Ch ina |
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| Abstract: | A new method for analytically obtaining the form of an interferogram is proposed. The method permits simple implementation for a computerized treatment. We can use it to determine easily the thickness of a thin film. |
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| Keywords: | thickness measurement thin films interferometry CCD |
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