| 加速度地震检波器简谐振子有限元分析 |
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| 引用本文： | 恩德,邓三星,孙攀,陈亚柯,张宁波. 加速度地震检波器简谐振子有限元分析[J]. 压电与声光, 2015, 37(1): 176-178 |
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| 作者姓名： | 恩德 邓三星 孙攀 陈亚柯 张宁波 |
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| 作者单位： | (河南理工大学 电气工程与自动化学院，河南 焦作 454001) |
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| 基金项目： | 国家自然基金资助项目(41074090)；河南省科技计划重点攻关项目资助(022102210360) |
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| 摘 要： | ![]()
介绍简谐振子的工作原理。利用ANSYS软件,采用有限元法创建了简谐振子质量块的实体模型,选择单晶硅作为简谐振子中质量块的材料;设置了模型的材料属性,采用智能分网的方式对模型划分网格,并对质量块模型施加沿x轴水平方向载荷,进行三维的静力分析和模态分析。静力分析得到实体模型的总位移是0.236×10-19μm;模态分析时只对前四阶模型进行了分析,根据其振型图及其总位移的应力云图,得到实体模型的二十阶振动模态的频率是78 001Hz,二十阶的总位移是0.122×10-6μm。
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| 关 键 词： | 微光机电系统(MOEMS)三分量加速度地震检波装置 简谐振子 质量块 有限元 位移 |
Finite Element Analysis for Harmonic Oscillator of Acceleration Seismic Geophone |
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| EN De,DENG Sanxing,SUN Pan,CHEN Yake and ZHANG Ningbo. Finite Element Analysis for Harmonic Oscillator of Acceleration Seismic Geophone[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2015, 37(1): 176-178 |
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| Authors: | EN De DENG Sanxing SUN Pan CHEN Yake ZHANG Ningbo |
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| Affiliation: | (School of Electrical Engineering and Automation, Henan Polytechnic University,Jiaozuo 454001,China) |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | MOEMS three component acceleration seismic geophone harmonic oscillator mass finite element displacement |
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