| 基于YCOB的高温声表面波谐振器的研究 |
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| 引用本文： | 曾义红,舒琳,邓森洋,张万里,彭斌.基于YCOB的高温声表面波谐振器的研究[J].压电与声光,2015,37(1):17-19. |
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| 作者姓名： | 曾义红 舒琳 邓森洋 张万里 彭斌 |
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| 作者单位： | （电子科技大学 电子薄膜与集成器件国家重点实验室, 四川 成都 610054） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（61223002） |
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| 摘 要： | 该文研究了在新型压电材料YCa4O(BO3)3(YCOB)上设计和制备高温声表面波(SAW)谐振器。研究了2种不同切型X-90°、Z-90°YCOB为基底的SAW谐振器的高温性能。研究表明,在600℃下器件的稳定性高,其谐振频率随着温度的升高呈线性降低。Z-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为278.94 MHz和21.22kHz/℃;X-90°YCOB器件的谐振频率和温度灵敏度分别为230.53MHz和13.44kHz/℃。结果表明,Z-90°切型的YCOB的温度灵敏度较高。
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| 关 键 词： | YCa4O(BO3)3 声表面波 高温谐振器 |
High Temperature SAW Resonator Based on YCOB Substrate |
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| ZENG Yihong,SHU Lin,DENG Senyang,ZHANG Wanli and PENG Bin.High Temperature SAW Resonator Based on YCOB Substrate[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2015,37(1):17-19. |
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| Authors: | ZENG Yihong SHU Lin DENG Senyang ZHANG Wanli and PENG Bin |
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| Affiliation: | (State Key Lab. of Electronic Thin Films and Integrated Devices,University of Electronic Science and Technology of China,Chengdu 610054,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | YCa4O(BO3)3(YCOB) surface acoustic wave(SAW) high temperature resonator |
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