| 真空电弧镀膜中金属液滴的热过程研究 |
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| 引用本文： | 程仲元 邹积岩. 真空电弧镀膜中金属液滴的热过程研究[J]. 微细加工技术, 1996, 0(4): 38-42 |
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| 作者姓名： | 程仲元 邹积岩 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学机电工程学院，华中理工大学电力系 |
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| 摘 要： | ![]()
本文建立了真空电弧镀膜中液滴热过程的理论模型，求解了沉积ＴｉＮ膜过程中液滴的温度与粒径变化。计算表明，液滴在飞行过程中温度和粒径不断减小；粒径较小的液滴温度降低较大，甚至可能发生凝固。计算实例能较好解释早期ＴｉＮ膜的电镜分析结果，揭示液滴在薄膜中引起两种不同微孔的机理。
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| 关 键 词： | 真空电弧镀膜；金属液滴；热过程；TiN膜 |
STUDY ON THERMAL PROCESS OF DROPLETS IN VACUUM ARC DEPOSITION |
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| Cheng Zhongyuan. STUDY ON THERMAL PROCESS OF DROPLETS IN VACUUM ARC DEPOSITION[J]. Microfabrication Technology, 1996, 0(4): 38-42 |
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| Authors: | Cheng Zhongyuan |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | vacuum arc deposition metal liquid droplets thermal process TiN films |
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