| 进行纳米结构加工的新兴STM技术 |
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| 引用本文： | 胡小唐,李艳宁.进行纳米结构加工的新兴STM技术[J].微细加工技术,1996(1):60-66. |
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| 作者姓名： | 胡小唐 李艳宁 |
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| 作者单位： | 天津大学精密仪器与光电子工程学院 |
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| 摘 要： | 本文论述了新兴纳米加工技术－ＳＴＭ（ＳｃａｎｎｉｎｇＴｕｎｎｅｌｉｎｇＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）的原理、实验方法、结构形成的机理和最新成果，并分析了它的发展潜力和当前需要研究的主要课题。
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| 关 键 词： | 扫描隧道显微镜（STM） 隧道电流 纳米加工 |
NOVEL STM TECHNOLOGY FOR NANOMETER STRUCTURE FABRICATION |
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| Hu Xiaotang, Li Yanning, Zhang Guoxiong.NOVEL STM TECHNOLOGY FOR NANOMETER STRUCTURE FABRICATION[J].Microfabrication Technology,1996(1):60-66. |
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| Authors: | Hu Xiaotang Li Yanning Zhang Guoxiong |
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| Abstract: | The principle, experimental methods, formation mechanism of nanometer structure and current research results of novel nanometer fabrication technology using Scanning Tunneling Microscope (STM) are described. It's potential capability and present research topics in demand are reviewed. |
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| Keywords: | Scanning tunneling Microscope (STM) tunneling current nanometer fabrication |
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