| 薄膜沉积法制作菲涅耳透镜 |
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| 引用本文： | 李红军,卢振武,廖江红,翁志成. 薄膜沉积法制作菲涅耳透镜[J]. 微细加工技术, 2000, 0(4): 40-44 |
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| 作者姓名： | 李红军 卢振武 廖江红 翁志成 |
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| 作者单位： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,长春,130022 |
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| 摘 要： | 衍射光学元件在国防、生产及科研等领域起着为越重要的作用。衍射光学元件的制作技术主要包括激光或电子束直写、反应离子刻蚀、离子束铣及薄膜沉积。薄膜沉积法具有精确控制台阶高度及台阶表面较光滑的优点。使用薄膜沉积法制作１６阶菲涅耳透镜，用它代替常规的光学透镜可实现系统的轻量化、小型化、增加系统设计的自由度，屯菲涅耳透镜的衍射效率并分析产生误差的原因。
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| 关 键 词： | 衍射光学元件 薄膜沉积法 菲涅耳透镜 衍射效率 |
| 文章编号： | 1003-8213(2000)04-0040-05 |
| 修稿时间： | 2000-03-10 |
Fresnel lens fabricated by thin film deposition |
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| LI Hong-jun,LU Zhen-wu,LIAO Jiang-hong,WENG Zhi-cheng. Fresnel lens fabricated by thin film deposition[J]. Microfabrication Technology, 2000, 0(4): 40-44 |
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| Authors: | LI Hong-jun LU Zhen-wu LIAO Jiang-hong WENG Zhi-cheng |
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| Affiliation: | LI Hong-jun,LU Zhen-wu,LIAO Jiang-hong,WENG Zhi-cheng;(The State Key Laboratory of Applied Optic Changchun Institute of Optical and Fine Mechanics and physics, Chinese Academy of Sciences changchun 130022, China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | DOE thin film deposition Fresnel lens diffractive efficiency |
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