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| 直拉大直径硅单晶的工艺研究 | |
| 作者姓名： | 夏锦禄 朱克皓 姜治平 褚祥康 黄世金 |
| 作者单位： | 上海有色金属研究所(夏锦禄，朱克皓，姜治平，褚祥康)，上海有色金属研究所(黄世金) |
| 摘 要： | 一、前言 电子工业的发展正给整个工业体系带来革命性的变化。作为电子工业发展的主要代表是LSI和VLSI。它在小型化、轻量化、低耗能和高速化等方面的优越地位,都是任何其它器件所不可比拟的。为了适应LSI的发展,材料工作者曾作出了不少努力,其中一个方面就是发展大容量大直径硅单晶。这不仅可以提高单晶生产率,而且对提高器件生 |
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