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基于LIGA(准LIGA)工艺的微机械零件公差问题
引用本文:石庚辰,李华. 基于LIGA(准LIGA)工艺的微机械零件公差问题[J]. 功能材料与器件学报, 2008, 14(2): 380-383
作者姓名:石庚辰  李华
作者单位:北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室,北京,100081;北京理工大学机电工程与控制国家级重点实验室,北京,100081
摘    要:
复杂微机械系统由多个微机械零件装配而成,与传统金属切削加工技术相同,微机械加工也存在公差,特别是在微机械零件之间存在装配关系时,合理给出零件之间的公差尤其重要.由于微机械加工技术不同于传统金属切削加工技术,其加工公差的确定与标注也不同于传统工艺.本文对基于LIGA(准LIGA)工艺的微机械零件公差问题进行研究.文中分析了采用LIGA(准LIGA)工艺进行加工的过程中,零件存在加工误差的环节和原因、加工误差产生的规律,以及在特定加工条件下的误差范围,在此基础上,给出了微机械零件尺寸的确定方法.

关 键 词:LIGA  微机械零件  公差
文章编号:1007-4252(2008)02-0380-04
修稿时间:2007-07-20

Tolerance of MEMS part based on LIGA(Quasi-LIGA)technology
Shi geng-chen,Li Hua. Tolerance of MEMS part based on LIGA(Quasi-LIGA)technology[J]. Journal of Functional Materials and Devices, 2008, 14(2): 380-383
Authors:Shi geng-chen  Li Hua
Abstract:
Keywords:
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