Affiliation: | a CERN, CH-1211 Geneva 23, Switzerland b Institut für Luft- und Kältetechnik gGmbH, Bertolt-Brecht-Allee 20, D-01309 Dresden, Germany c Institut für Energiemaschinen und Maschinenlabor, Technische Universität Dresden, D-01062 Dresden, Germany d HNP Mikrosysteme GmbH, Juri-Gagarin-Ring 4, D-19370 Parchim, Germany |