化学脱钻对硬质合金沉积金刚石薄膜的影响

采用HFCVD系统，以Cu4和H2为反应气体，分别在YG3、YG6、YG10、YG13硬质合金上沉积了金刚石薄膜，研究了化学脱钴处理对不同钴含量硬质合金沉积金刚石薄膜的影响。通过对105个样品的实验结果进行统计分析发现，YG3所得金刚石薄膜样品具有足够结合强度的比例为89％；而YG6、YG10和YG13所得样品的相应值分别为24％、7％和0％。相反，YG3、YG6、YG10和YG13所得金刚石薄膜严重破坏的比例分别为0％、64％、72％和79％。研究表明，化学腐蚀脱钴处理能够解决金刚石涂层形核率低的问题，但难以解决高钴硬质合金的附着性差的问题。