| 大行程精密定位平台偏摆误差的补偿方法 |
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| 引用本文： | 刘吉柱,李健,张雯雯,王阳俊,潘明强,陈立国,.大行程精密定位平台偏摆误差的补偿方法[J].振动．测试与诊断,2017,37(3):501-506. |
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| 作者姓名： | 刘吉柱 李健 张雯雯 王阳俊 潘明强 陈立国 |
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| 作者单位： | （1.苏州大学机电工程学院，苏州215021）（2.苏州大学苏州纳米科技协同创新中心，苏州215021） |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目（61273340）；国家高技术研究发展计划（“八六三”计划）资助项目（2013AA041109） |
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| 摘 要： | 精密定位平台在导轨动连接处刚度较差,在高速高动态工作中这里易产生偏摆振动。为了减小偏摆误差对定位平台的影响,提高定位精度,通过对直线电机驱动、气浮导轨支撑和导向的高精度定位平台进行研究。根据定位平台偏摆误差的动态特性,采用偏摆误差补偿方法,设计一种偏摆误差检测系统,采用平尺和微位移传感器相结,具有高频响、非接触式的特点。设计了一种基于压电陶瓷驱动的x,y两维微位移补偿机构。同时,通过将气浮导轨滑块副简化成弹簧、质量和阻尼相结合的系统,推导出了定位平台两自由度的偏摆振动模型。基于误差补偿系统的偏摆误差补偿实验表明,精密定位平台的定位精度得到了较大提高,定位平台的定位精度优于2μm。
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| 关 键 词： | 偏摆误差 振动模型 压电陶瓷 误差补偿 |
The Yaw Error Compensation Method of Large Stroke Precision Positioning Platform |
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| LIU Jizhu,LI Jian,ZHANG Wenwen,WANG Yangjun,PAN Minqiang,CHEN Liguo.The Yaw Error Compensation Method of Large Stroke Precision Positioning Platform[J].Journal of Vibration,Measurement & Diagnosis,2017,37(3):501-506. |
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| Authors: | LIU Jizhu LI Jian ZHANG Wenwen WANG Yangjun PAN Minqiang CHEN Liguo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | yaw error vibration model pb-based lanthanumdoped zirconate titanates (PZT) error compensation |
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