| 面向MEMS加速度传感器的仪表放大器的设计与实现 |
| |
| 引用本文： | 邢万里.面向MEMS加速度传感器的仪表放大器的设计与实现[J].计算机测量与控制,2017,25(10):310-313. |
| |
| 作者姓名： | 邢万里 |
| |
| 作者单位： | 青岛科技大学 自动化与电子工程学院,山东 青岛 266100 |
| |
| 摘 要： | 加速度传感器已经广泛应用于军事、工业、环境监测等领域,已经成为热点的研究对象,但是器件的小型化与可靠性成为限制该技术发展的重要瓶颈;因此,针对新型硅基MEMS 加速度传感器的信号处理电路小型化的问题,提出了一种与MEMS技术完全兼容基于CMOS工艺的片上集成运算放大器电路;通过提取分析相关加速度传感器的性能参数,设计低功耗、低噪声且符合精度等特殊要求的前置放大器;同时对集成仪表放大器的主要电路特性和功耗进行了仿真分析;从仿真结果看,设计的三运放仪表放大器的关键参数—共模抑制比可以到达101 dB,整体性能良好;完成了对仿真结果的版图设计和验证,继而在华润上华0.5 μm CMOS标准工艺线上进行了流片,完成了芯片的封装测试,该测试结果显示运放的增益能够达到42 dB,功耗仅为5.25 mW,符合预期的设计目标。
|
| 关 键 词： | 片上集成 仪表放大器 共模抑制比 低功耗 |
| 收稿时间： | 2017/5/18 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2017/8/8 0:00:00 |
Design and Realization of Instrument Amplifier for MEMS Acceleration Sensor |
| |
| Xing Wanli.Design and Realization of Instrument Amplifier for MEMS Acceleration Sensor[J].Computer Measurement & Control,2017,25(10):310-313. |
| |
| Authors: | Xing Wanli |
| |
| Affiliation: | Qingdao University of Science and Technology, Qingdao 266100,China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | integrated on-chip instrumentation amplifier the common-mode rejection ratio low power consumption |
|
| 点击此处可从《计算机测量与控制》浏览原始摘要信息 |
|
点击此处可从《计算机测量与控制》下载全文 |
|
