| 器件工艺可靠性测试数据比较方法的研究 |
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| 引用本文： | 王擎雷,周柯,杨斯元. 器件工艺可靠性测试数据比较方法的研究[J]. 半导体技术, 2010, 35(4): 378-382. DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.04.020 |
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| 作者姓名： | 王擎雷 周柯 杨斯元 |
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| 作者单位： | 中芯国际,上海,201203;中芯国际,上海,201203;中芯国际,上海,201203 |
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| 摘 要： | ![]()
热载流子注入(hot carrier injection,HCI)效应和负偏压温度不稳定性(negative biastemperature instability,NBTI)是集成电路中重要的前段器件工艺可靠性测试项目。通过引入工业统计学,详细讨论了在不同工艺制造情况或测试环境下HCI/NBTI效应可靠性差异的比较方法。这些对于HCI/NBTI测试比较方法的总结,有利于合理分析工艺可靠性测试结果,协助晶圆生产部门找出失效机理,不断改善工艺制程并保持工艺的稳定性。
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| 关 键 词： | HCI/NBTI 寿命 置信区间 管控图 显著性差异 |
Study of Comparison Method in Device Process Reliability Test |
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| Wang Qinglei,Zhou Ke,Yang Siyuan. Study of Comparison Method in Device Process Reliability Test[J]. Semiconductor Technology, 2010, 35(4): 378-382. DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.04.020 |
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| Authors: | Wang Qinglei Zhou Ke Yang Siyuan |
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| Abstract: | ![]()
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| Keywords: | HCI/NBTI |
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