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| 离子束法淀积类金刚石膜 | |
| 引用本文： | 陈本敬,王秀琼,肖觉民,刘敏,刘燕湘.离子束法淀积类金刚石膜[J].炭素技术,1985(3). |
| 作者姓名： | 陈本敬 王秀琼 肖觉民 刘敏 刘燕湘 |
| 作者单位： | 湖南大学化工系，湖南大学化工系，湖南大学化工系，湖南大学化工系，湖南大学化工系 |
| 摘 要： | 一、引言自七十年代初。由Aisenberg等人开始至七十年代末Weissmantel等人,用各种不同的离子束淀积方法都生长出了类金刚石碳膜。这种膜的性质透明,绝缘性高,折射系数大,能长期耐酸腐蚀,硬度高能划分玻璃,具有类似于金刚石的性质,故称类金刚石膜。 |
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