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| 改良西门子法尾气处理及氢气净化工艺 | |
| 引用本文： | 杨紫琪.改良西门子法尾气处理及氢气净化工艺[J].山东化工,2015,44(2):143-145. |
| 作者姓名： | 杨紫琪 |
| 作者单位： | 黄河水电光伏产业技术有限公司,青海西宁,810000 |
| 摘 要： | 简单介绍了多晶硅生产采用的改良西门子法,着重介绍了尾气处理及氢气净化的原理、工艺流程及还原炉尾气处理实例。 |
| 关 键 词： | 多晶硅 尾气 净化 |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
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