| 基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟 |
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| 引用本文： | 麻健勇,傅克祥,王植恒,卢向东.基于模式理论光栅椭偏参数反演的数值模拟[J].四川激光,2003,24(5):42-44. |
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| 作者姓名： | 麻健勇 傅克祥 王植恒 卢向东 |
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| 作者单位： | 麻健勇（四川大学物理科学和技术学院,成都,610064）;傅克祥（四川大学物理科学和技术学院,成都,610064）;王植恒（四川大学物理科学和技术学院,成都,610064）;卢向东（四川大学物理科学和技术学院,成都,610064） |
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| 摘 要： | 将一种广泛用于求解系统优化问题的方法——正单纯形法，求解光栅的椭偏方程。首先，利用求解光栅的傅立叶模式理论对TE和TM波的复反射系数进行求解。然后计算出其相应的椭偏参数(△，Ψ)，并在该值的基础上加入不同偏差的随机高斯噪声，将加入噪声后的值(△m，Ψm)作为模拟测量值。最后使用优化算法进行反演。通过对几种常用面形光栅椭偏参数的数值模拟，一方面表明傅立叶模式理论计算光栅的椭偏参数不仅精度高。而且速度快；另一方面表明利用正单纯形法得到的光栅参数值很接近于正演时假设的参数值，从而从理论上证明了利用椭偏法测量光栅各种光学参数的可行性。
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| 关 键 词： | 光栅 椭偏参数 正单纯形法 数值模拟 正单纯形法 高斯噪声 反演 傅立叶模式理论 |
| 修稿时间： | 2003年2月24日 |
Inversions of gratings parameters by ellipsometric method in theory |
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| Ma Jianyong Fu Kexiang Wang Zhiheng Lu Xiangdong.Inversions of gratings parameters by ellipsometric method in theory[J].Laser Journal,2003,24(5):42-44. |
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| Authors: | Ma Jianyong Fu Kexiang Wang Zhiheng Lu Xiangdong |
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| Keywords: | Normal Simple Algorithm Ellipsometric parameters inversion Fourier modal theory |
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