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| 非晶YBCO薄膜热释电红外探测器 | |
| 作者姓名： | 刘黎明杨培志 黄宗坦 |
| 作者单位： | 昆明物理研究所特种器件研发中心,云南,昆明,650223;昆明物理研究所特种器件研发中心,云南,昆明,650223;昆明物理研究所特种器件研发中心,云南,昆明,650223 |
| 摘 要： | 介绍了非晶YBCO薄膜用作非制冷热释电红外探测器材料。它在室温下显示出强的热释电行为,并且容易在室温下采用射频磁控溅射法沉积,制备工艺与CMOS工艺相兼容,是
一种很有潜力的热释电探测器材料。并介绍了非晶YBCO热释电薄膜的研究现状,阐述了该薄膜及其探测器的制备技术和研究动向。 |
| 关 键 词： | 非晶YBCO薄膜 热释电效应 红外探测器 |
| 文章编号： | 1001-5078（2006）10-0957-03 |
| 收稿时间： | 2006-05-16 |
| 修稿时间： | 2006-05-16 |
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