| 电容式微加速度计开环模式非线性模型 |
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| 引用本文： | 戴强,王向展,罗谦,杨洪东,杨谟华.电容式微加速度计开环模式非线性模型[J].传感技术学报,2007,20(3):512-515. |
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| 作者姓名： | 戴强 王向展 罗谦 杨洪东 杨谟华 |
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| 作者单位： | 电子科技大学微电子与固体电子学院,成都,610054 |
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| 摘 要： | 针对当前电容式微加速度计量程不高、开环模式非线性误差大的特点,根据力学理论和电路读出原理,并基于非线性特性中最大可测量加速度、初始工作点和吸合点与动定电极间距d的变化规律,提出了电容式微加速度计非线性模型.模型指出,随着输出电压的增加,可测量加速度近似成线性增加,在靠近最大可测量加速度αmax时斜率增大,其后随输出电压的增加而减小至吸合点;αmax由d和微结构梁弹性常数与质量之比λ决定,且d的作用优于λ;d在小于初始工作点时加速度计不能工作,该点由传感头参数η决定,且η的最佳取值范围为1×1019～2×1019,此时准静态条件下吸合点大于整个动电极行程的95%.该模型的提出对开环式加速度计的非线性误差纠正提供了理论支持,对加速度计的结构设计具有参考价值.
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| 关 键 词： | 电容式微加速度计 非线性模型 开环模式 输入输出特性曲线 最大可测加速度 初始工作点 吸合点 |
| 文章编号： | 1004-1699（2007）03-0512-04 |
| 收稿时间： | 2006-06-25 |
| 修稿时间： | 2006-07-12 |
Nonlinear model of micro-machined capacitive accelerometer operating in open-loop mode |
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| DAI Qiang,WANG Xiang-zhan,LUO Qian,YANG Hong-dong,YANG Mo-hua.Nonlinear model of micro-machined capacitive accelerometer operating in open-loop mode[J].Journal of Transduction Technology,2007,20(3):512-515. |
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| Authors: | DAI Qiang WANG Xiang-zhan LUO Qian YANG Hong-dong YANG Mo-hua |
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| Affiliation: | School of micro-electronics and solid-state electronics, Uestc |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | micro-machined capacitive accelerometer nonlinear model open-loop mode input and output characteristic curve maximum measurand acceleration critical point pull in point |
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