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超光滑表面加工方法
引用本文:李宝贵,熊昌友,李成贵,张庆荣. 超光滑表面加工方法[J]. 制造技术与机床, 2006, 0(6): 60-62,66
作者姓名:李宝贵  熊昌友  李成贵  张庆荣
作者单位:1. 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院,北京,100083
2. 中国航空工业第一集团公司第三○四所,北京,100095
摘    要:超光滑表面的一个最直接的评价参数就是表面粗糙度,它要求Ra≤1 nm.在这样高的要求下,传统抛光由于磨料的存在限制了表面粗糙度进一步减小,传统的机械加工已经满足不了要求.文中着重阐述了现有的超光滑表面的加工方法,对于各种方法都做了原理性的介绍及评价.

关 键 词:超光滑表面  纳米表面  抛光  加工技术  粗糙度
收稿时间:2005-09-15
修稿时间:2005-09-15

Machining Technology of Super Smooth Surface
LI Baogui,XIONG Changyou,LI Chenggui,ZHANG Qingrong. Machining Technology of Super Smooth Surface[J]. Manufacturing Technology & Machine Tool, 2006, 0(6): 60-62,66
Authors:LI Baogui  XIONG Changyou  LI Chenggui  ZHANG Qingrong
Abstract:
Keywords:Super Smooth Surface    Nanometer Surface    Polishing    Machining Technology    Roughness
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