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| 大面积微细结构的电火花高效加工 | |
| 引用本文： | 伊福廷,张院春,等.大面积微细结构的电火花高效加工[J].北京机电通讯,2001(28):29-31. |
| 作者姓名： | 伊福廷 张院春 |
| 作者单位： | [1]中国科学院 [2]北京市机电研究院100027 |
| 摘 要： | 采用深度光刻与电铸技术相结合较好地解决了大深宽比的电火花工具电极的制造问题。在此基础上，利用优化的微细电火花加工工艺，可以实现大面积微细结构的高效、精细制造。 |
| 关 键 词： | 电火花加工 微细加工 大面积 微细结构 |
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