| α粒子能损法测量薄膜厚度的准确性和灵敏度 |
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| 引用本文： | 徐家云,白立新,吴卫东,吴丽萍,周厚全.α粒子能损法测量薄膜厚度的准确性和灵敏度[J].原子能科学技术,2005,39(6):495-497. |
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| 作者姓名： | 徐家云 白立新 吴卫东 吴丽萍 周厚全 |
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| 作者单位： | 1. 四川大学物理科学与技术学院,四川成都,610064
2. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心,四川绵阳,621900 |
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| 基金项目： | 高温高密度等粒子物理国家重点实验室基金资助项目（9035） |
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| 摘 要： | 采用分层计算方法分析用α粒子能损法测量薄膜厚度的准确性与分层层数的关系.此关系表明,采用分层计算可使准确性提高30%.另外,分析了膜厚测量的灵敏度随α粒子能量或随薄膜厚度的变化关系,并根据这一关系提出了提高膜厚测量灵敏度的方法.
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| 关 键 词： | α粒子 能损法 能量损失率 准确性 灵敏度 |
| 文章编号： | 1000-6931（2005）06-0495-03 |
| 收稿时间： | 2004-12-21 |
| 修稿时间： | 2004-12-212005-04-15 |
Accuracy and Sensitivity of Film Thickness Measurement by Using α-Particle Energy Loss Method |
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| XU Jia-yun,BAI Li-xin,WU Wei-dong,WU Li-ping,ZHOU Hou-quan.Accuracy and Sensitivity of Film Thickness Measurement by Using α-Particle Energy Loss Method[J].Atomic Energy Science and Technology,2005,39(6):495-497. |
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| Authors: | XU Jia-yun BAI Li-xin WU Wei-dong WU Li-ping ZHOU Hou-quan |
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| Affiliation: | 1. College of Physical Science and Technology, Sichuan University, Chengdu 610064, China; 2. China Academy of Engineering Physics, P. O. Box 919-986, Mianyang 621900, China |
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| Abstract: | |
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