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| 微电子级多晶硅工艺管道洁净安装施工技术 | |
| 引用本文： | 王卫东,闫晓辉.微电子级多晶硅工艺管道洁净安装施工技术[J].安装,2013(6). |
| 作者姓名： | 王卫东 闫晓辉 |
| 作者单位： | 陕西建工集团设备安装工程有限公司第一分公司 陕西宝鸡721006;陕西建工集团设备安装工程有限公司第一分公司 陕西宝鸡721006 |
| 摘 要： | 洁净管道安装过程中,通过对管道下料、组对、焊接、压力试验、吹扫等进行洁净技术措施控制,达到管道系统洁净度。 |
| 关 键 词： | 微电子级多晶硅 洁净度 气室保护装置 洁净包封 洁净室 |
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