| ICP-MS测定多晶硅基体中金属杂质的不确定度评定 |
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| 引用本文： | 汪正花,刘婷,王芝娟.ICP-MS测定多晶硅基体中金属杂质的不确定度评定[J].当代化工,2016(8):2053-2056. |
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| 作者姓名： | 汪正花 刘婷 王芝娟 |
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| 作者单位： | 青海黄河水电有限公司新能源分公司,青海西宁,810008 |
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| 摘 要： | 建立ICP-MS测定多晶硅基体中金属杂质Cr、Fe、Ni、Cu、Zn含量的不确定度评定法是多晶硅分析检测行业所迫切需求的。从样品称量、样品溶液的体积变化、仪器测量标准曲线和样品溶液中各杂质元素的浓度、以及整个试验过程中测量重复性引入的不确定度进行分析评定,依次得出分量标准不确定度,以分量标准不确定度计算出合成标准不确定度,并应用A类不确定度评定法计算出测量结果的扩展不确定度,并得出检测结果的置信区间。
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| 关 键 词： | 多晶硅 金属杂质 不确定度 电感耦合等离子体质谱仪 |
Evaluation of Uncertainty in Measurement of Metal Impurity in Silicon Feedstock by Inductively Coupled-plasma Mass Spectrometry |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | polysilicon metalimpurities uncertainty evaluation inductively coupled-plasma mass spectrometry |
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