| ZnO:Al透明导电薄膜的研制 |
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| 引用本文： | 应春,沈杰,陈华仙,杨锡良,章壮健. ZnO:Al透明导电薄膜的研制[J]. 真空科学与技术学报, 1998, 18(2): 125-129 |
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| 作者姓名： | 应春 沈杰 陈华仙 杨锡良 章壮健 |
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| 作者单位： | 复旦大学材料科学系,上海,200433 |
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| 摘 要： | 介绍用直流平面磁控溅射方法制备掺铝的氧化锌透明导电薄膜并研究了其特性，阐述了金属氧化物透明导电薄膜研究的发展情况及其应用前景，并讨论了氧化锌掺铝薄膜的优点。介绍了ZnO∶Al薄膜的制备情况：靶的制备及薄膜的制备过程。测量了薄膜的光电特性，包括透射比、折射率、消光系数、方块电阻、电阻率、载流子浓度和迁移率等参数，并分析了各种实验条件对薄膜性能的影响。
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| 关 键 词： | 掺铝氧化锌薄膜 反应蒸发 反应磁控溅射 |
| 修稿时间： | 1997-03-07 |
Studies of Al Doped ZnO Transparent Conducting Films |
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| Ying Chun,Shen Jie,Chen Huaxian,Yang Xilian,Zhang Zhuangjian. Studies of Al Doped ZnO Transparent Conducting Films[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 1998, 18(2): 125-129 |
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| Authors: | Ying Chun Shen Jie Chen Huaxian Yang Xilian Zhang Zhuangjian |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | ZnO:Al film Reactive evaporation Reactive magnetron sputtering |
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