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硅超大规模集成电路技术和发展
引用本文:罗浩平.硅超大规模集成电路技术和发展[J].电子与封装,2003,3(5):48-57.
作者姓名:罗浩平
作者单位:中国电子科技集团公司第58研究所,江苏,无锡,214035
摘    要:本文介绍了国际上硅超大规模集成电路技术和产品的发展状况,阐述了硅超大规模集成电路关键技术和产品特点及其发展趋势,对我国集成电路同行将起借鉴作用。

关 键 词:硅集成电路  技术  产品  发展
修稿时间:2003年4月5日

Technology and Development of Si VLSI
LUO Hao-ping.Technology and Development of Si VLSI[J].Electronics & Packaging,2003,3(5):48-57.
Authors:LUO Hao-ping
Abstract:An overall review of the development of technology and producors for Si VLSI is made in this paper. The key technology and characteristic of the productions and developing trend for Si VLSI are also described.lt will be used for reference for IC engineers.
Keywords:Si Integrated Circuits  Technology  Productors  Development
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