| 基于针孔阵列的多光束共焦三维测量系统 |
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| 引用本文： | 孔兵,王昭,谭玉山,弥宁.基于针孔阵列的多光束共焦三维测量系统[J].中国激光,2002,29(3):263-266. |
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| 作者姓名： | 孔兵 王昭 谭玉山 弥宁 |
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| 作者单位： | 西安交通大学激光与红外应用研究所,西安,710049 |
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| 基金项目： | 西安交通大学行动计划A[2 0 0 0 ]0 0 0 0 0 6 3，西安交通大学在职博士基金 99 5 2 2资助项目 |
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| 摘 要： | 提出了一种基于 5 0 0× 5 0 0的针孔阵列的多光束共焦三维测量系统 ,该系统具有测量视场大 ,测量速度快 ,系统结构简单等特点
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| 关 键 词： | 共焦测量 针孔阵列 三维轮廓 误差标定 |
| 收稿时间： | 2000/11/20 |
Multi-beam Confocal System Using Pinhole Array |
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| KONG Bing,WANG Zhao,TAN Yu-shan,MI Ning.Multi-beam Confocal System Using Pinhole Array[J].Chinese Journal of Lasers,2002,29(3):263-266. |
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| Authors: | KONG Bing WANG Zhao TAN Yu-shan MI Ning |
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| Abstract: | The 500×500 pinhole array is used in the multi-beam confocal system for 3D measurement. The equipment needn't mechanical rotation, thus it is simple in the mechanism, also the measuring field is larger. With the interpolation technique, the 3D profile can be got quickly with high precision. |
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| Keywords: | confocal measurement pinhole array 3D profile error calibrating |
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