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| 半导体晶体的定向切割 | |
| 引用本文： | 郭辉,林本付.半导体晶体的定向切割[J].微纳电子技术,1997(5). |
| 作者姓名： | 郭辉 林本付 |
| 作者单位： | 淄博金晶电子材料厂 |
| 摘 要： | 半导体晶体的定向切割郭辉林本付（淄博金晶电子材料厂）１晶体定向切割分析１．１定向分析目前世界上所用的晶体材料如Ｓｉ、Ｇｅ等单质晶体或ＧａＡｓ、ＧａＰ、ＩｎＰ等化合物半导体晶体都是闪锌矿结构，一般都是沿〈１１１〉、〈１００〉或〈１１０〉取向生长而成。其... |
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