基于非本征F-P干涉技术的全光纤位移测量系统北大核心CSCD |
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引用本文: | 马英瀚,张树,皮磊,阎晗,胡佳成,施玉书.基于非本征F-P干涉技术的全光纤位移测量系统北大核心CSCD[J].计量学报,2023(12):1799-1804. |
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作者姓名: | 马英瀚 张树 皮磊 阎晗 胡佳成 施玉书 |
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作者单位: | 1.中国计量大学计量测试工程学院310018;2.中国计量科学研究院100029;3.深圳中国计量科学研究院技术创新研究院518107; |
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基金项目: | 国家重点研发计划(2021YFF0700403)。 |
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摘 要: | 为解决传统分离镜组式干涉仪体积较大,无法在空间受限的环境条件下应用的问题,开展了全光纤F-P干涉位移测量技术研究。根据干涉原理分析了不同反射率条件对干涉信号形式的影响,计算得出:当反射率为4%时,多光束干涉的光强信号将近似为正弦函数,并利用有限元仿真对位移测量原理进行验证。设计搭建了基于非本征F-P干涉技术的全光纤位移测量系统。实验结果表明:该系统在1 min内静态噪声电压标准差为23.3 mV;在1 mm位移范围内,该系统与XL-80激光干涉仪的测量结果呈现高度线性关系,线性相关系数R 2为1,且该系统位移测量重复性优于XL-80激光干涉仪。
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关 键 词: | 计量学 位移测量 光纤传感 F-P干涉技术 激光干涉仪 有限元仿真 |
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