声表面波器件的历史

本论文对雷利波或声表面波（SAW）在及其在电子学中应用的器件的发展进行了历史的综述，声表面波最初由于脉冲压缩雷达的需要而产生、发展，从1965年起，并随着平面叉指换能器的产生而有了现实应用，传感的确定使大量的各种各样的器件得到发展。无源SAW器件如今已无所不在。其应用包括从专业雷达、通信系统到消费领域。如：电视、寻呼机和移动电话。本论文广阔叙述了有关SAW在晶体介质中的传播研究，特别是1970年以来的研究，包括压电耦合衍射和温度效应，这使得人们发现了几种合适的材料，同时许多器件开始发展，包括脉冲压缩滤波器、带通滤波器、谐振器、振荡器、卷积器及用于展宽频谱的滤波器，在20世纪70年代，其中的许多器件在专业体系中发展确立，其中SAW带通滤波器已成为民用电视的标准元件。在20世纪80年代和90年代，SAW迎合了低损耗滤波器的要求，特别是对于手机。随着900MHz左右的射频要求2dB损耗的要求（后来已经实现），大量新的技术产生了。此外，为了减少频宽器件积，采用了特殊的技术，以生产中频滤波器。这些器件已被大量生产。为了满足此种需要，新品种的表面滤特别是横向漏波被研究出来，此外使用这种波的材料现在已经独立于传统材料而拥有自己的位置。