| 磁控溅射Fe-N薄膜的结构和性能 |
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| 引用本文： | 周剑平,李华飚,乔祎,顾有松,李丹,常香荣,赵春生,田中卓. 磁控溅射Fe-N薄膜的结构和性能[J]. 材料研究学报, 2000, 14(6): 647-651 |
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| 作者姓名： | 周剑平 李华飚 乔祎 顾有松 李丹 常香荣 赵春生 田中卓 |
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| 作者单位： | 北京科技大学;北京科技大学新金属材料重点实验室 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目!19890310． |
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| 摘 要： | 研究了氮流量对磁控溅射Ｆｅ－Ｎ薄膜的磁性和结构的影响．加氮薄膜的软磁性能明显优于纯铁的．当氮的流量为１．０ｍＬ·ｍｉｎ~（－１）时,矫顽力 Ｈ_ｃ达到最小值２０５Ａ／ｍ．当氮流量为０．８ｍＬ·ｍｉｎ_（－１）时,饱和磁化强度达到Ｍ_ｓ＝２．３６Ｔ．在 Ｆｅ－Ｎ薄膜中未发现γ’－Ｆｅ４Ｎ和 α”－Ｆｅ１６Ｎ２．
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| 关 键 词： | 磁控溅射 Fe-N膜 饱和磁化强度 矫顽力 |
| 文章编号： | 1005-3093(2000)06-0647-05 |
| 修稿时间： | 2000-01-27 |
STRUCTURE AND MAGNETIC PROPERTIES OF Fe-N FILMS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERING |
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| ZHOU Jianping,LI Huabiao,QIAO Yi,GU Yousong,LI Dan,CHANG Xiangrong,ZHAO Chunsheng,TIAN Zhongzhuo. STRUCTURE AND MAGNETIC PROPERTIES OF Fe-N FILMS PREPARED BY MAGNETRON SPUTTERING[J]. Chinese Journal of Materials Research, 2000, 14(6): 647-651 |
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| Authors: | ZHOU Jianping LI Huabiao QIAO Yi GU Yousong LI Dan CHANG Xiangrong ZHAO Chunsheng TIAN Zhongzhuo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | magnetron sputtering Fe-N films saturation magnetization coercivityd |
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