| 脉冲激光沉积类金刚石膜红外增透技术研究 |
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| 引用本文： | 杨雪,汪怡平,郭延龙,曹海源,米朝伟,田方涛. 脉冲激光沉积类金刚石膜红外增透技术研究[J]. 红外与激光工程, 2011, 40(1) |
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| 作者姓名： | 杨雪 汪怡平 郭延龙 曹海源 米朝伟 田方涛 |
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| 作者单位： | 1. 武汉军械士官学校,光电技术研究所,湖北,武汉,430075
2. 湖南大学,汽车车身先进设计制造国家重点实验室,湖南,长沙,410082 |
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| 基金项目： | 国家863课题资助项目，国家973课题资助项目，武汉军械士官学校青年教员科技创新基金 |
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| 摘 要： | 针对传统方法制备类金刚石(DLC)膜存在的3～5μm波段红外透过率低这一难题,采用飞秒脉冲激光沉积(PLD)法在红外材料硅基底上镀制DLC膜.重点考查了靶材与基片的间距、背景气压、激光单脉冲能量、负偏压、温度以及掺硅量等工艺参数对其透过率的影响,经过大量的实验与优化分析,总结出一套有效的脉冲激光沉积DLC膜工艺来制备优良的光学保护增透膜.相比传统工艺,大大提高了3～5μm波段的平均红外透过率,在硅基底上单面镀制DLC膜的最高红外透过率达到了68.2%,与理论最高值的68.7%仅相差0.5%.
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| 关 键 词： | 飞秒脉冲激光 脉冲激光沉积法 类金刚石膜 红外透过率 |
Key technology research for infrared transmittance of DLC film prepared by pulse laser deposition |
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| Yang Xue,Wang Yiping,Guo Yanlong,Cao Haiyuan,Mi Chaowei,Tian Fangtao. Key technology research for infrared transmittance of DLC film prepared by pulse laser deposition[J]. Infrared and Laser Engineering, 2011, 40(1) |
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| Authors: | Yang Xue Wang Yiping Guo Yanlong Cao Haiyuan Mi Chaowei Tian Fangtao |
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| Affiliation: | Yang Xue1,Wang Yiping2,Guo Yanlong1,Cao Haiyuan1,Mi Chaowei1,Tian Fangtao1(1.Optoelectronic Technology Laboratory,Wuhan Ordnance Noncommissioned Officers School,Wuhan 430075,China,2.State Key Laboratory of Advanced Design and Manufacture for Vehicle Body,Hunan University,Changsha 410082,China) |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | femtosecond pulse laser PLD DLC film infrared transmittance |
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