| 陶瓷材料在微机电系统中的应用 |
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| 引用本文： | 刘文广,张玲,刘莹.陶瓷材料在微机电系统中的应用[J].中国陶瓷工业,2004,11(5):49-51. |
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| 作者姓名： | 刘文广 张玲 刘莹 |
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| 作者单位： | 1. 景德镇陶瓷学院机电工程学院,333001
2. 南昌大学机电工程学院,330029 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(编号:50275071)
江西省自然科学基金资助项目(编号:0250018) |
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| 摘 要： | 在微机电系统(MEMS)中应用到了许多种材料,其中,使用最多的是陶瓷材料。本文分析了当前国内外在MEMS研究中 的陶瓷材料的应用现状。着重分析了在MEMS中硅作为结构材料的应用以及作为薄膜材料的应用,此外,还介绍了其它 一些在MEMS中常见的陶瓷材料,如碳化硅、氮化硅、PZT压电陶瓷等材料的性能和应用。
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| 关 键 词： | 微机电系统 陶瓷材料 薄膜 |
| 文章编号： | 1006-2874(2004)05-0049-03 |
| 修稿时间： | 2004年1月10日 |
THE APPLICATION OF CERAMIC MATERIAL IN MEMS |
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| Liu Wenguang Zhang Lin Liu Ying.THE APPLICATION OF CERAMIC MATERIAL IN MEMS[J].China Ceramic Industry,2004,11(5):49-51. |
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| Authors: | Liu Wenguang Zhang Lin Liu Ying |
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| Abstract: | There are many kinds of materials using in Microeletrocmechanical system (MEMS), among them,ceramic material is the most application. This paper analysed the application condition of ceramic material in the research in MEMS. As fabric material and thin film material, Si has been analysed. Moreover, other ceramic material such as SiO2, SiC and PZT are been presented. |
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| Keywords: | microeletrocmechanical system MEMS ceramic material thin film |
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