| 工作气压对TiO2薄膜结构的影响 |
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| 引用本文： | 李哲奎,顾广瑞,孙文斗,李全军,赵永年.工作气压对TiO2薄膜结构的影响[J].延边大学理工学报,2004,30(2):96-99. |
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| 作者姓名： | 李哲奎 顾广瑞 孙文斗 李全军 赵永年 |
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| 作者单位： | [1]延边大学理工学院物理系，吉林延吉133002 [2]延边广播电视大学，吉林延吉133001 [3]吉林大学超硬材料国家重点实验室，吉林长春130012 |
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| 摘 要： | 用射频磁控溅射方法以纯金属钛做靶材在氩氧混合气体中制备了TiO2薄膜，Raman光谱测量表明，工作气压从0．2Pa变化到2Pa时，TiO2薄膜的结构由金红石相变化到锐钛矿相，厚度对TiO2薄膜结构没有明显影响．
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| 关 键 词： | TiO2薄膜 Raman光谱 金红石 锐钛矿 |
| 文章编号： | 1004-4353(2004)02-0096-04 |
| 修稿时间： | 2004年4月3日 |
Investigation on structure of TiO2 films sputtered NiMnCo substrates |
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| LI Zhe-kui,GU Guang-rui,SUN Wen-dou,LI Quan-jun,Zhao Yong-nian.Investigation on structure of TiO2 films sputtered NiMnCo substrates[J].Journal of Yanbian University (Natural Science),2004,30(2):96-99. |
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| Authors: | LI Zhe-kui GU Guang-rui SUN Wen-dou LI Quan-jun Zhao Yong-nian |
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| Affiliation: | LI Zhe-kui~1,GU Guang-rui~1,SUN Wen-dou~2,LI Quan-jun~1,Zhao Yong-nian~3 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Titainum dioxide films Raman spectrum Rutile Anatase |
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