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| 退火温度对铁电薄膜钛酸锶钡的影响 | |
| 引用本文： | 郭杰,普朝光,杨明珠,王静宇,阚家德,杨宇.退火温度对铁电薄膜钛酸锶钡的影响[J].红外技术,2003,25(4):88-91. |
| 作者姓名： | 郭杰 普朝光 杨明珠 王静宇 阚家德 杨宇 |
| 作者单位： | 1. 云南大学材料科学与工程系,云南,昆明,650091;昆明物理研究所,云南,昆明,650223 2. 昆明物理研究所,云南,昆明,650223 3. 云南大学材料科学与工程系,云南,昆明,650091 |
| 基金项目： | 云南省自然科学基金资助项目 |
| 摘 要： | 用醋酸盐和钛酸酯为原料，采用改进的Sol—gel工艺在Pt／Ti／SiO2／Si基片上制备出Ba0.6Sr0.4TiO3(BST)铁电薄膜，然后进一步对薄膜进行退火实验：对(110)方向生长BST薄膜在550～750℃进行恒温退火。X射线衍射分析表明：退火温度在650℃以上时，BST薄膜转变为较为完整的ABO3型钙钛矿晶体结构，更高的退火温度将提高晶体的取向度。 |
| 关 键 词： | 铁电薄膜 钛酸锶钡 退火 X射线衍射 BST |
| 文章编号： | 1001-8891(2003)04-0088-04 |
| 修稿时间： | 2003年1月2日 |
Effect of Annealing Temperature on Ferroelectric Barium Strontium Titanate Thin Films |
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| GUO Jie ,PU Chao-guang ,YANG Ming-zhu,WANG Jing-yu,KAN Jia-de ,YANG Yu.Effect of Annealing Temperature on Ferroelectric Barium Strontium Titanate Thin Films[J].Infrared Technology,2003,25(4):88-91. | |
| Authors: | GUO Jie PU Chao-guang YANG Ming-zhu WANG Jing-yu KAN Jia-de YANG Yu |
| Affiliation: | GUO Jie 1,2,PU Chao-guang 2,YANG Ming-zhu,WANG Jing-yu,KAN Jia-de 1,YANG Yu 1 |
| Abstract: | |
| Keywords: | BST annealing X rays diffraction |
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