| 含钨类金刚石薄膜的制备与性能研究 |
| |
| 引用本文： | 牛孝昊,罗庆洪,杨会生,陆永浩,熊小涛,王燕斌.含钨类金刚石薄膜的制备与性能研究[J].真空,2007,44(4):36-39. |
| |
| 作者姓名： | 牛孝昊 罗庆洪 杨会生 陆永浩 熊小涛 王燕斌 |
| |
| 作者单位： | 北京科技大学,材料物理与化学系,北京,100083 |
| |
| 摘 要： | 为了满足制备较厚低摩擦系数类金刚石薄膜（DLC）耐磨镀层的实际需求，对在等离子增强化学气相沉积的类金刚石薄膜（W—DLC）中掺钨进行了系统研究。研究结果表明，类金刚石薄膜掺入钨，在较宽的工艺条件范围内，都可以沉积厚度超过5μm的薄膜而不发生剥落。适当控制工艺条件和膜中钨的含量可以提高薄膜的硬度，降低磨损率，且保持低的摩擦系数和较高的沉积速率。
|
| 关 键 词： | 掺钨类金刚石薄膜 硬度 摩擦系数 等离子增强化学气相沉积 |
| 文章编号： | 1002-0322（2007）04-0036-04 |
| 修稿时间： | 2006-11-05 |
Deposition of tungsten-doped DLC thin films and their properties |
| |
| NIU Xiao-hao,LUO Qing-hong,YANG Hui-sheng,LU Yong-hao,XIONG Xiao-tao,WANG Yan-bin.Deposition of tungsten-doped DLC thin films and their properties[J].Vacuum,2007,44(4):36-39. |
| |
| Authors: | NIU Xiao-hao LUO Qing-hong YANG Hui-sheng LU Yong-hao XIONG Xiao-tao WANG Yan-bin |
| |
| Affiliation: | Department of Material Physics and Chemistry, University of Science and Technology Beijing, Beijing 100083 ,China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | W-DLC thin film hardness friction factor PECVD |
| 本文献已被 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
