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| 检测非球面的准万能补偿器设计 | |
| 引用本文： | 徐斌,王文生.检测非球面的准万能补偿器设计[J].长春光学精密机械学院学报,1997,20(1):1-5. |
| 作者姓名： | 徐斌 王文生 |
| 摘 要： | 本文利用法线象差补偿法检测非球面面形的理论，研究了准万能补偿器的设计方法，根据Ⅲ级象差理论，通过一实例计算并用光学设计软件优化得到一组准万能补偿器的透境结构参数。该补偿器可用于泰曼－格林干涉仪中，检测一定范围的抛物面，椭圆面和双曲面，其补偿精度达到０．０１λ。 |
| 关 键 词： | 非球面 准万能补偿器 象差补偿法 光学系统 面形 |
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