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| SIMS在半导体生产中的应用 | |
| 引用本文： | 赵梦壁.SIMS在半导体生产中的应用[J].真空科学与技术,1998,18(A12):136-139. |
| 作者姓名： | 赵梦壁 |
| 摘 要： | 介绍ＳＩＭＳ分析技术在半导体生产中的几个典型应用实例：在材料分析方面的应用－－－鉴别杂质成分；在工艺分析方面的应用－－了解工艺情况；在解剖分析方面的应用－获得器件内部组成成分。以此说明ＳＩＭＳ分析技术在半导体生产中的重要性。 |
| 关 键 词： | 铝靶 解剖分析 杂质成分 深度分布 半导体 SIMS |
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