纺织器材机件的新型修复技术（二）

4气相沉积技术气相沉积按机理划分，可分为物理气相沉积（PhysicalVapourdisposion）和化学气相沉积（ChemicalVapourdisposion），前者通称PVD，后者通称CVD。4.1PVD法阴极溅射4.1.1阴极溅射的基本原理阴极溅射就是在真空的条件下，用荷能粒子轰击某一靶材（阴极），使靶材表面原子以一定的能量溅出，然后在机件表面沉积的过程，图4-1是阴极溅射系统简图。靶是一平板，由欲沉图4-1阴极溅射系统简囤积的材料组成，将它与电源的负极相联（阴极）。固定装置可以接地、悬空、偏置、加热、冷却。真空槽中充入1．33×10Pa～1．33×10-1Pa的…