硅光栅的等高粗糙对黏着影响的实验研究

采用具有600 nm周期的一维硅光栅来表示等高粗糙表面,研究AFM的测试参数对等高粗糙表面的黏着影响。实验所使用的探针为平头探针(PL2 CONTR 10,Nanosensors),其针尖直径为2 μm,实验分别在空气中以及干燥环境下进行,通过力曲线的测量,计算出黏着力的平均值以及标准差。结果表明：载荷与停留时间会引起黏着力的略微增大或减小,但总体影响不是很大;在空气中,随着退针速率加快,黏着力先表现出先增大然后减小的趋势;而在干燥环境下,黏着力随着退针速率的加快逐渐减小。