Al/n—GaAs肖特基接触正向脉冲退化对GaAsIC的影响 |
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引用本文: | 夏世伟,施健.Al/n—GaAs肖特基接触正向脉冲退化对GaAsIC的影响[J].上海微电子技术和应用,1995(2):1-4. |
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作者姓名: | 夏世伟 施健 |
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摘 要: | 本文描述了Al/n-GaAs肖特基接触的正向脉冲退化效应,探讨了当肖特基二极管承受正向电流冲击时,势垒高度ΦB升高,直接影响Al栅MESFETs的特性,导致Al/n-GaAs IC失效的机理。
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关 键 词: | 肖特基接触 正向脉冲效应 铝 砷化镓 集成电路 |
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