| 压力传感器集成恒流源灵敏度温度系数补偿 |
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| 引用本文： | 郑蓓蓉,薛伟,周晨,张淼.压力传感器集成恒流源灵敏度温度系数补偿[J].中国机械工程,2010(7). |
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| 作者姓名： | 郑蓓蓉 薛伟 周晨 张淼 |
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| 作者单位： | 温州大学; |
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| 基金项目： | 浙江省自然科学基金资助项目(Y107746) |
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| 摘 要： | 针对超低量程微型压力传感器和表面微机械加工的多晶硅压力传感器在高精度测试时和宽温区使用时灵敏度温度系数补偿量大的特点,提出应用"集成恒流源网络"来补偿灵敏度温度系数的方法,推导了定量补偿的公式。灵敏度温度漂移补偿实验中,通过温度周期的调节标定,补偿后灵敏度温度系数绝对值容易达到10×10-6/℃~50×10-6/℃满量程输出,从而验证了该方法的可行性和实用性,表明用集成恒流源补偿压阻式压力传感器具有补偿量大、成本低、效果好、精度高、容易集成等优点,在器件制作中有很大的应用前景。
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| 关 键 词： | 压力传感器 灵敏度温度系数 集成恒流源 补偿 |
Sensitivity Temperature Coefficient Compensation Based on Pressure Sensor Integrated Constant Current |
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| Zheng Beirong Xue Wei Zhou Chen Zhang MiaoWenzhou University,Wenzhou,Zhejiang.Sensitivity Temperature Coefficient Compensation Based on Pressure Sensor Integrated Constant Current[J].China Mechanical Engineering,2010(7). |
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| Authors: | Zheng Beirong Xue Wei Zhou Chen Zhang MiaoWenzhou University Wenzhou Zhejiang |
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| Affiliation: | Zheng Beirong Xue Wei Zhou Chen Zhang MiaoWenzhou University,Wenzhou,Zhejiang,323035 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | pressure sensor sensitivity temperature coefficient integrated constant current compensation |
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