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| 压力传感器的应力计算 | |
| 引用本文： | 周倜,李格,等.压力传感器的应力计算[J].江苏石油化工学院学报,2002,14(4):47-49. |
| 作者姓名： | 周倜 李格 |
| 作者单位： | 江苏石油化工学院功能材料实验室，江苏石油化工学院，江苏石油化工学院功能材料实验室 江苏常州213016，江苏常州213016 |
| 摘 要： | 从弹性力学的板壳理论出发,对不同参数的凸型板结构形变膜受压后的应力分布作了近似计算,为高线性度SOI压力传感器的芯片设计提供了理论指导。用BESOI技术研制的凸型板结构集成压力传感器的非线性度达0 09%,样品灵敏度的实测值与应力计算理论值的差别约17%。 |
| 关 键 词： | 板壳理论 压力传感器 应力计算 |
Stress Calculation of Pressure Sensor |
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| Abstract: | |
| Keywords: | plate-shell theory stress calculation pressure sensor |
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