| 一种差分式电容传感器读出电路及其前置放大器的设计 |
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| 引用本文： | 吕志军,倪学文,莫邦燹,项斌.一种差分式电容传感器读出电路及其前置放大器的设计[J].微电子学,2003,33(3):232-236. |
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| 作者姓名： | 吕志军 倪学文 莫邦燹 项斌 |
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| 作者单位： | 北京大学,微电子研究所,北京,100871 |
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| 摘 要： | 采用基于开关电容技术的CMOS电路，实现差分式电容微传感器的信号读出；阐述了这种电路结构的工作原理；分析了噪声特性，并提出了减小噪声的措施。分析了各晶体管尺寸对热噪声和1/f噪声的影响；并在设计时进行了折衷。采用3μm阱CMOS工艺参数对前置放大器进行了HSPICE仿真：放大器具有68nV／√H^2的输入噪声、84dB的开环增益、130dB的共模增益等优良的交、直流特性；电路还可以达到1fF的输入分辨率。
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| 关 键 词： | 电容式微传感器 CMOS电路 过采样 前置放大器 差分式 读出电路 工作原理 噪声特性 |
| 文章编号： | 1004-3365(2003)03-0232-05 |
| 修稿时间： | 2002年7月16日 |
Design of a Readout Circuit and Its Preamplifier for Differential Capacitive Sensors |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Capacitive microsensor CMOS circuit Oversampling Preamplifier |
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